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  • 产品名称: YJ-9.6B10L╱PB 双面?#24515;?抛光机

  本机器主要适用于硅片、石英晶片、光学晶体、玻璃、宝石、铌酸锂、砷化镓、陶瓷片等薄脆金属或非金属的?#24515;?#25110;抛光。

  机器采用双电机驱动,游星轮在上下盘之间做行星运动,工件上下表面同?#26412;?#21248;?#24515;?/ 抛光。
  机器采用内齿圈升降,内齿圈升降采用点动控?#21697;?#24335;操作,使操作者能自由控制齿圈升降高度。
  电机采用变频调速器控制,能在有效设置范围内?#21248;我?#36895;度工作,停止、加减速过程平稳,无抖动、无冲击。
  上盘装置增加机械的安全装置,在摆片、维修等状态下不会因突然故障而下降,增加了安全性。
  太阳轮可以单独调速,能灵活调整工艺参数。
 

项目

规格

上(下)盘尺寸

φ622×φ386×40(mm)

工件厚度

最大Max :20(mm)  最小Min:0.06(mm)

工件?#26412;?/p>

最大Max :100(mm)

下盘转速

0~60(rpm)

游星轮数量

10

游星轮参数

公制Metric System :Z=70 Mn=2
英制British System :Z=66 Dp=12

上盘压力范围

10~150(Kg)

电源/耗电量

3相-380V/6KVA
3 phase-380V/6KVA

气源/耗气量

0.5(Mpa)/30(L/min)

主机尺寸

1500×1000×2430(mm)

机器重量

~1980(Kg)

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